Mentor Graphics’ neue „3D Variability“-Lösung meistert Probleme mit der Metalldichte und –dicke beim CMP-Prozess

WILSONVILLE, Oregon/USA, 01. April 2009 Mentor Graphics erweitert die Fähigkeiten seiner Calibre-Plattform und bietet nun eine vollständige Lösung, um die Schwankungen der Metallschichtdicke zu kontrollieren, die infolge des Chemical Mechanical Polishing (CMP) bei modernen Knoten entstehen. Abhängig von den Designanforderungen und dem angestrebten Fertigungsprozess bietet Calibre den Anwendern erstmals eine nahtlose Methode für den Übergang vom „Dummy-Fill“ zur dichtebasierten oder vollständig modellbasierten Metallfüllung.

Da der Prozentsatz der Gesamtschwankungen der Metallschichtdicke pro Lage an jedem Knoten steigt, sind unter 65 nm CMP-Abweichungen sehr viel bedeutender und traditionelle Ansätze für Dummy-Fills nicht mehr adäquat. Die SmartFill-Funktion des Calibre-YieldEnhancer-Werkzeugs erweitert die Fähigkeiten der Calibre-Plattform und gestattet Metallfüllungen, die auf komplexen dreidimensionalen Regeln oder Dichten und Dichtegradienten basieren.

Um eine noch höhere Genauigkeit bei der Überwachung der Metalldickenschwankungen zu erreichen, ist eine detaillierte Simulation des CMP-Prozesses erforderlich. Die Calibre-Lösung verfügt nun über ihren eigenen CMP-Simulator mit Modellen, die auf das Silizium führender Fabs abgeglichen sind. Da CMP-Modelle aufgrund der sich schnell ändernden CMP-Prozesse häufig aktualisiert werden müssen, erlaubt die Calibre-Lösung es dem Anwender, eigene Metalldickenmodelle zu erstellen und zu kalibrieren. Die Calibre-SmartFill-Funktion ist vollständig in den CMP-Simulator und kundeneigene CMP-Modelle integriert und ermöglicht für jede Technologieumgebung eine optimierte automatisierte Füllung.

Verfügbarkeit

Mentors vollständige „3D Variability“-Lösung ist ab sofort erhältlich und beinhaltet die Produkte Calibre YieldEnhancer mit SmartFill und Calibre CMPAnalyzer. Die Model-Building-Fähigkeiten sind Teil des Calibre-WORKbench-Produkts. Der neu integrierte CMP-Simulator unterstützt zusätzliche Fabs und Technologien. Zertifiziert wurde der Calibre-CMP-Flow für die 8.0 und 9.0 Referenz-Flows von TSMC.

Über Mentor Graphics
Mentor Graphics Corporation (Nasdaq: MENT) gehört zu den weltweit führenden Unternehmen, die Software- und Hardwarelösungen für die Entwicklung elektronischer Schaltungen anbieten. Zu Mentors Portfolio gehören Produkte, Beratungs- und Supportdienstleistungen, auf die die weltweit erfolgreichsten Elektronik- und Halbleiterhersteller vertrauen und dies mit der Verleihung zahlreicher Auszeichnungen an Mentor zum Ausdruck gebracht haben. Das 1981 gegründete Unternehmen erzielte in den zurückliegenden zwölf Monaten einen Gesamtumsatz von über 850 Mio. US-Dollar und beschäftigt weltweit ca. 4.500 Mitarbeiter. Der Hauptsitz von Mentor Corporate befindet sich den USA, 8005 S.W. Boeckman Road, Wilsonville, Oregon 97070-7777; Die Adresse der Niederlassung im Silicon Valley lautet: 1001 Ridder Park Drive, San Jose, Kalifornien 95131-2314. Weitere Informationen unter: www.mentor.com

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