Mentor Graphics qualifiziert Calibre-Flow für 65- und 40-nm-IC-Fertigungsprozesse von TSMC

Modellbasierter Planarisierungs-Flow verbessert Ausbeute in der IC-Fertigung

WILSONVILLE, Oregon/USA, 04. Juni 2008 Mentor Graphics kündigt die Qualifizierung seines SmartFill-Flows für die 65- und 40-nm-Prozesse von TSMC an. SmartFill ist ein modellbasierter Flow zur Planarisierung, der die systematische und parametrische Ausbeute bei der Halbleiterfertigung verbessern kann. Er umfasst die Calibre-Werkzeuge CMPAnalyzer und YieldEnhancer sowie das DFM (Design For Manufacturing) Datenkit von TSMC. Die Qualifizierung von SmartFill erweitert die bewährten DFM-Lösungen zwischen Mentor Graphics und TSMC und ist Teil des Active Accuracy Assurance (AAA) Programms von TSMC.

Das CMPAnalyzer-Werkzeug von Calibre bildet die Grundlage von Mentors CMP (Chemical-Mechanical Polishing) Lösung. CMPAnalyzer ist direkt mit VCMP, dem CMP-Simulator von TSMC verbunden, und dient der Erkennung von 3-D-Hotspots sowie der Festlegung optimaler Füllstrategien. Die entsprechenden Informationen leitet der CMPAnalyzer dann an die SmartFill-Funktion des YieldEnhancer weiter, die die Füllelemente in die Layout-Designdatenbank einträgt. Die Kombination von präzisen Foundry-Daten und intelligenter Füllanalyse verbessert die parametrische Ausbeute, da sie Schwankungen der Metallschichtdicke und die damit zusammenhängenden Widerstände und Kapazitäten reduziert. Die vom CMPAnalyzer erzeugten Werte können in das Calibre-xRC-Werkzeug integriert werden, um eine wesentlich genauere parasitäre Extraktion zu erzielen. CMPAnalyzer und YieldEnhancer basieren auf der Calibre-nm-Platform, der brachenführenden Plattform zur physikalischen Verifikation.

„Bei 65 nm und darunter wird eine enge Verbindung zwischen EDA-Werkzeugen und Fertigungsprozessen immer entscheidender“, erklärte Joseph Sawicki, Vice-President und General-Manager der Design to Silicon Division, Mentor Graphics. „Mit CAA (Critical Area Analysis), Lithografie-Prozessüberwachung und für TSMC qualifizierten CMP-Werkzeugen, bietet die physikalische Verifikations-Plattform Calibre einen umfassenden Ansatz für das Ausbeute-Management auf modernen Prozessknoten.“

Über Mentor Graphics
Mentor Graphics Corporation (Nasdaq: MENT) gehört zu den weltweit führenden Unternehmen, die Software- und Hardwarelösungen für die Entwicklung elektronischer Schaltungen anbieten. Zu Mentors Portfolio gehören Produkte, Beratungs- und Supportdienstleistungen, auf die die weltweit erfolgreichsten Elektronik- und Halbleiterhersteller vertrauen und dies mit der Verleihung zahlreicher Auszeichnungen an Mentor zum Ausdruck gebracht haben. Das 1981 gegründete Unternehmen erzielte in den zurückliegenden zwölf Monaten einen Gesamtumsatz von über 850 Mio. US-Dollar und beschäftigt weltweit ca. 4.200 Mitarbeiter. Der Hauptsitz von Mentor Corporate befindet sich den USA, 8005 S.W. Boeckman Road, Wilsonville, Oregon 97070-7777; Die Adresse der Niederlassung im Silicon Valley lautet: 1001 Ridder Park Drive, San Jose, Kalifornien 95131-2314. Weitere Informationen unter: www.mentor.com

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